技術編號:5997056
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及半導體性能測試領域,尤其涉及一種半導體光、電、磁及其相互耦合性質的綜合表征方法。背景技術當前在半導體領域,光電技術發展迅速,比如LED產業,蘊含著一場新的技術革命,可能會建立起一個全新的產業體系;在通信領域,3G信息時代的到來,計算機、互聯網絡的快速發展,均離不開半導體產業的迅速發展。而半導體產業的發展離不開先進的測試技術。光、電、力、磁是材料表征的4個基本方面,尤其是光、電、磁的性質,更是半導體材料和器件非常重要的參數。而目前的商業設備一般...
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