技術編號：5964048
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及半導體制造工藝，更具體地說，本發明涉及一種。背景技術隨著設計與制造技術的發展，集成電路設計從晶體管的集成發展到邏輯門的集成，現在又發展到IP的集成，即SoC(System-on-a-Chip)設計技術。SoC可以有效地降低電子/信息系統產品的開發成本，縮短開發周期，提高產品的競爭力，是未來工業界將采用的最主要的產品開發方式。一般在先進的芯片制造過程中都會涉及到光學的缺陷檢測，缺陷檢測的基本工作 原理是將芯片上的光學圖像轉換成為可由不同亮暗灰階表示...
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