技術編號：5959152
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明為一種利用部分補償透鏡實現非球面面形的干涉測量方法，屬于光電 背景技術 干涉法測量光學元件面形具有簡單、精度高等優點，目前廣泛使用。由于傳統的干涉儀只能作小波像差的測量，測量平面和球面等簡單小波像差表面時，干涉儀光路較簡單，但對于非球面面形的測量，要用一零補償透鏡將非球面產生的大波像差復雜波面補償為波像差為零的波面，在干涉儀中與標準面作比較，干涉條紋的不規則形狀表示非球面的面型誤差，由此直接測量被測非球面的面形誤差。由于零補償透鏡具有極高的補償能力...
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