技術編號：5951114
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及ー種利用光纖光譜儀的光學薄膜厚度檢測裝置及方法，用于實時在線地進行光學薄膜厚度的大范圍無損測量。背景技術光學薄膜技術作為ー種成熟的技木，或用來提升器件的性能，或用來實現某種特殊的功能，在光學、材料、通信、半導體等領域有著廣泛的應用，從日常生活中的眼鏡、鏡頭鍍膜、照明到科學研究中的窄帶濾光片，半透半反膜等等，光學薄膜無處不在。隨著半導體技術、集成光電子技術、激光技術、薄膜傳感技術等新技術的不斷發展，光學薄膜技術也在不斷地發展進步。光學薄膜中，薄膜的...
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