技術編號：5935163
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種基于頻閃干涉視覺的微機電系統(Micro Electro Mechanical System-MEMS)動態特性三維測量裝置，可實現微機電系統中運動微機械器件的靜態動態特性的全三維可視化測量。背景技術 MEMS是指可以批量制作的，集微型機構、微型傳感器和微執行器以及信號處理和控制電路，直至接口、通訊和電源等于一體的微型系統。廣義上包含毫米和微米尺度的機械，但并非單純的宏觀機械微小化。MEMS研究需要解決其批量生產過程中面臨的材料、設計、制造、...
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