技術(shù)編號：5904857

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本發(fā)明涉及一種可以應(yīng)用在各種高精度、微測量力的軟材料、微型機械零件、微器件、超精密光學(xué)器件等三維形貌測量領(lǐng)域中的三維諧振觸發(fā)測頭及三維諧振觸發(fā)定位方法。背景技術(shù)近年來，納米定位技術(shù)的發(fā)展使超精加工和超微加工進入了納米技術(shù)的新時代， 使對微小位移量和微小物體的測量達到了納米、亞納米量級，對微納米三坐標測量機(CMM) 尤其微納米測頭提出高精度、低測量力等更高要求，目前還沒有成熟的技術(shù)可以滿足需求。現(xiàn)有微納米CMM測頭一般有接觸式測頭和非接觸式測頭。接觸式測頭...
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