技術(shù)編號(hào)：588104

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本發(fā)明涉及生長(zhǎng)第III族元素和第V族元素化合物薄膜的裝置和方法，尤其涉及 一種第III族元素和第V族元素化合物薄膜生長(zhǎng)反應(yīng)腔的清潔方法及反應(yīng)腔狀態(tài)恢復(fù)方 法。背景技術(shù)作為一種典型的第III族元素和第V族元素化合物薄膜，氮化鎵(GaN)是一種廣 泛應(yīng)用于制造藍(lán)光、紫光和白光二極管、紫外線檢測(cè)器和高功率微波晶體管的材料。由于 GaN在制造適用于大量用途的低能耗裝置(如，LED)中具有實(shí)際和潛在的用途，GaN薄膜的 生長(zhǎng)受到極大的關(guān)注。GaN薄膜能以多種不同的方...
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