技術編號:5867558
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于壓力檢測,特別涉及一種陶瓷壓力傳感器及差壓傳感器。現有技術中用于檢測壓力的傳感器,主要有電阻應變片式、硅擴散片式、壓電式、電感式、電容式等形式的壓力傳感器。這些傳感器各有利弊,它們的缺點主要有線性差、重復性差,滯后、蠕變嚴重,反應速度慢,溫度穩定性不好,抗沖擊、抗過壓能力差;或測量范圍小;或溫度和時間穩定性較差,而且體積較大。目前已有幾個改進方案,例如,ZL87209178公開了一種耐高溫抗振型電容壓力傳感器,包括一個由75氧化鋁陶瓷材料制成...
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