技術編號：5844834
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種，用于金屬薄膜。背景技術 微機電系統(MEMS)材料經常以薄膜的形式存在，基于某一襯底或與其它材料構成復合材料，它的性能對MEMS器件和微結構具有極其重要的影響。對于厚度只有幾微米的薄膜材料，由于尺寸效應、加工方法和特殊的微結構等原因，薄膜材料的力學特性將不同于大塊材料。然而目前還沒有建立一種標準測試方法能非常準確的測量MEMS材料的力學特性。早期測量薄膜材料力學特性的方法有納米壓痕法、基片彎曲法、鼓泡法、微拉伸法及共振頻率法等。納米壓痕法用...
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