技術編號：5837811
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。具有恒定接觸力的振動掃描探針參考數據0001本發明要求2007年4月3日提交的歐洲專利申請第 2007EP-105559號的優先4又。0002本發明涉及一種用于掃描工件表面的方法及其相關設備。技術背景0003已知多種掃描方法，其中機械探針固定在^L器心軸上，該機器心 軸在每個可能方向(X、 Y、 Z)上沿多條直線在工件表面上來回移動。在 每條線完成之后，機器心軸使探針運動到與已完成的線相移位的新位置， 并沿著平行線重復上述運動。0004這類本領域已知的方法...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。