技術編號：5833171
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種適用于測量絕對壓力、片(gauge)壓力或差壓的 壓力傳感器。背景技術現在，以下這樣的壓力傳感器已被廣泛地使用，該壓力傳感器，例 如通過在半導體芯片上的一部分上形成膜片，在該膜片上將壓電電阻元 件配置成橋狀，將膜片隨被測量介質的壓力而產生的位移變換為壓電電 阻元件的電阻值的變化，來測量出被測量介質的壓力(例如，參照專利 文獻l)。另外，與以下這樣的壓力傳感器的制造工藝相關的發明也已為人們 所知，該制造工藝嚴格地控制以上那樣的膜片的厚度來在半導...
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