技術編號：5821671
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明屬于微機電系統和傳感，特別涉及一種基于碳納米管場致發射位移 敏感特性的基于碳納米管場致發射的梳齒結構微機械加速度計。背景技術近年來，利用微機電系統技術制作的微機械傳感器特別是加速度計，以其體積小、成 本低、易于集成和批量生產等優點，在軍事、汽車、航天、醫療等領域獲得廣泛的應用。 在微重力測量等航空航天等領域，由于加速度計的輸出信號比較微弱，若要大幅度提高 加速度計的測量準確度， 一方面應需要不斷改善測試電路，另一方面還需要從敏感原理上 對傳感器本身進...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。