技術編號：5818472
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于半導體工業制造領域,具體涉及一種鋼瓶夾套循環加 熱冷卻系統。背景技術鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統主要是利用水作為加熱或冷卻的介質，利 用物質導熱的性能對貯存有低壓粘稠性氣體或者液態氣體的鋼瓶進行加 熱或冷卻，從而增加或降低鋼瓶內氣體蒸發的速度來改變鋼瓶內氣體的壓 力，以此使氣體的壓力達到工業生產要求的標準。由于此種循環加熱/冷 卻系統設備簡單、操作方便、加熱效果好，所以現在被廣泛應用于半導體 產業、科研技術等領域。現有的鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統中...
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