技術編號：5797687
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。手動汽動組合mit閥本申請是2004年1月17日提交的名稱為"手動/氣動組合截止閥"的 中國專利申請200410005821. 0的分案申請。本申請要求對2003年1月17日申請的題為"手動/氣動組合截止閥"的美 國臨時專利60/440928享有優先權。絲領域本發明關于工藝流體控制裝置，尤其是關于一種工藝流體控制裝置的截止閥。背景駄在半導體晶片處理過程中，與添加、改變或去除硅片上材料相關的幾乎所 有工藝都會使用一種或多種工藝流體。這些工藝流體可包 刮者如氦...
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