技術編號：5746362
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。背景技術 本發明涉及在半導體制造裝置中使用的流體控制裝置，更詳細一些，涉及集成化流體控制裝置，該裝置用塊狀接頭連接質量流量控制器和開關閥等的流體控制機器，并在維護檢修時，能單獨向上取出流體控制機器，進行裝配。在此說明書中，雖然上、下是圖3中所稱的上、下，但是，這個上、下是為了方便；流體控制裝置，除去按同一圖中所示的狀態，設置在水平平面中以外，也可將上下倒過來，設置在水平平面中，或是設置在垂直平面上。過去，已經知道，作為這種集成化流體控制裝置，將由多個流體控...
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