技術編號:5682786
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種移動墊鐵,特別涉及一種可調整高度并且具有自鎖及防 振功能的可調移動墊塊。背景技術目前,在光刻機整機集成過程中,大多數設備都需要可調移動墊鐵,將其移 動和提升到安裝位置,實現機械接口的連接。可調移動墊鐵就是一個移動和提 升部件。因而在設備的安裝時常常會使用調整墊鐵,但是傳統的調整墊鐵不能夠隨時 整個移動,從而無法水平移動待安裝的設備。另夕卜,在狹小空間內移動和安裝精密設備時,被移動和提升的設備本身體積 就較大,而且在設備周圍有許多已經安裝好...
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