技術編號:5549359
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型公開一種抽氣裝置,具體地說,是一種用于烘烤爐的抽氣裝置。背景技術常用以烘烤玻璃基板之烘烤爐10的堆疊式的爐門裝置11,爐門裝置11是由兩個上下堆疊之門板12所組成,以封閉烘烤爐10,參閱圖1。烘烤爐10中設置有一承載架,供玻璃基板等物件上下間隔地排列于其上,以便對所述的物件進行熱處理。將爐門裝置11打開時,用驅動單元將欲打開之門板12向上移動所需的高度即可。然而,使用中的烘烤爐10內因加熱而使得氣體含有許多氣化的溶劑及化學成分,當打開爐門裝置11...
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