技術編號：5463135
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬抽真空，具體說是關于能夠達到高真空，抽速很大并且體積很小 的增強排氣型復合分子泵技術。 背景技術當半導體產業出現后，要求分子泵能連續地大量排氣和獲得清潔的真空，經常需要渦輪 分子泵在lPa以上工作，但渦輪分子泵恰好在這個壓力范圍內抽速下降很多。為了使泵能在 高壓區域保持有較高的抽氣能力，在原有的渦輪分子泵的高壓側配置了螺旋槽式牽引分子泵， 將兩種泵的抽氣單元串聯組成一個整體，形成了一種寬域型的復合式分子泵。以往在復合分子泵中的螺旋槽式牽引分子泵...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。