技術編號:5271720
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明屬于微納米制造,具體涉及一種。背景技術隨著柔性電路和柔性器件的逐漸推廣應用,柔性結構設計和優化尤為重要。柔性傳感器,激振器和柔性電子電路等是目前正在興起的一個重要學科領域。利用柔性基底薄膜結構表面屈曲實現柔性結構在服役過程中的功能是已經廣泛采用的一種手段。NedBowden等通過在柔性基底PDMS表面鍍金膜,鍍膜過程中產生的溫度變化,使得薄膜基底系統自發性地發生屈曲褶皺。后續有諸多學者從理論和實驗對這種薄膜基底系統由于失配應變引起的屈曲進行了研究。從...
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