技術(shù)編號：5269883
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。MEMS微傳感器的封裝結(jié)構(gòu)本實用新型涉及一種具有屏蔽功能的MEMS微傳感器的封裝結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)MEMS微傳感器是以MEMS技術(shù)為手段設(shè)計、加工并進行封裝的一系列微型傳感器 的統(tǒng)稱，其包括壓力傳感器、濕度傳感器、溫度傳感器、加速度傳感器等。MEMS微傳感器的封 裝是MEMS傳感器走向市場被客戶接受并廣泛應(yīng)用的最后一步，也是MEMS微傳感器制造中 十分關(guān)鍵的一步。由于MEMS微傳感器的不同種類、原理和應(yīng)用范圍，MEMS微傳感器具有多種多樣的 封裝形式。例如，目...
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