技術(shù)編號(hào):5269770
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及氣體檢測(cè),公開(kāi)了一種MEMS氣體傳感器,包括單晶硅襯底;多孔硅層,形成于單晶硅襯底的上表面且具有一定深度,多孔硅層的上表面及孔壁表面形成有二氧化硅薄膜,且多孔硅層與所述單晶硅襯底的上表面平齊;下絕緣層,覆蓋多孔硅層及所述單晶硅襯底的上表面;以及設(shè)置于下絕緣層上方的加熱層、上絕緣層及氣體敏感層。本實(shí)用新型的多孔硅層可以穩(wěn)定地支撐下絕緣層薄膜及其上的其他氣體傳感器元件,避免傳感器受力不均勻?qū)е碌淖冃纹屏鸭霸诟邷毓ぷ鲿r(shí)下絕緣層變形翹曲導(dǎo)致的加熱層脫...
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