技術(shù)編號：5267534
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystem，簡稱 MEMS)的 加工技術(shù)，特別是涉及一種雙軸MEMS陀螺儀的制造方法。背景技術(shù)微機電系統(tǒng)(MEMQ是對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技 術(shù)，它可將機械構(gòu)件、光學系統(tǒng)、驅(qū)動部件、電控系統(tǒng)集成為一個整體單元的微型系統(tǒng)，它 是用微電子技術(shù)和微加工技術(shù)相結(jié)合的制造工藝，制造出各種性能優(yōu)異、價格低廉、微型 化的傳感器、執(zhí)行器、驅(qū)動器和微系統(tǒng)，其中微加工技術(shù)包...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。