技術編號：5266019
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及納米，特別涉及ー種利用SU-8膠實現多種材料間全限制量子點的自對準制備方法。本發明提出了ー種采用納米量級SU-8膠條作干法刻蝕和濕法腐蝕的掩模和犧牲材料層腐蝕剝離相結合，制備多種材料間全限制量子點器件結構的方法。該方法選用的抗刻蝕、抗腐蝕性能優良的SU-8膠可作多種材料的干法刻蝕和濕法腐蝕的掩模，拓展了該方法的應用范圍。本方法選用的犧牲材料層的制備方法應該滿足エ藝溫度不能過高、腐蝕速率快的特點，這樣可以保證在對犧牲材料層操作過程中對功能材料層Q和...
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