技術(shù)編號(hào)：5035573

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本發(fā)明涉及一種化學(xué)氣相沉積/化學(xué)氣相滲透(以下稱CVD/CVI)工藝尾氣處理方法與設(shè)備。適用于工業(yè)化CVD/CVI制備連續(xù)纖維增韌陶瓷基復(fù)合材料、防氧化涂層及各種薄膜材料過程中尾氣的處理，也適用于其它真空設(shè)備的尾氣處理。背景技術(shù) CVD/CVI工藝過程中的進(jìn)氣包括H2、Ar和金屬有機(jī)硅烷，因而尾氣的組份包括未分解的金屬有機(jī)硅烷、反應(yīng)產(chǎn)物HCl、分解產(chǎn)物焦油、沉積產(chǎn)物粒子、載氣H2和稀釋氣Ar。未分解的金屬有機(jī)硅烷和反應(yīng)產(chǎn)物HCl遇空氣中的水將產(chǎn)生腐蝕性極強(qiáng)...
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