技術編號：4993731
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種。 背景技術傳統的晶硅生產過程中，產生的尾氣主要包括氫氣、氯化氫、二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅，這些尾氣主要依靠尾氣分離裝置來分別回收其中的氫氣、氯化氫和氯硅烷液體，其中氫氣回收采用活性炭吸附技術，回收氫氣純度為97%左右，但由于氫氣中夾帶少量氯化氫和氯硅烷液體，使吸附柱在長時間吸附后達到飽和，必須采用氫氣對吸附柱進行反吹解析，使活性炭再生。反吹后的氫氣夾帶大量氯硅烷，依次通過循環水、制冷劑冷卻分離氯硅烷之后，氫氣送到殘液處理車間通過循環水...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。