技術編號：4977541
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及光致抗蝕劑組合物的制造方法、過濾裝置、涂布裝置和光致抗蝕劑組合物。 另外，本申請以日本特許2002-368931、特愿2003-416583為基礎，并將其內容引入于本說明書中。背景技術通常把KrF激元激光、ArF激元激光、F2激元激光、EUV (遠紫外光)、EB (電子射線)等用作光源(放射線源)的化學增幅型的光致抗蝕劑組合物，例如在特開2002-296779號公報(專利文獻l)中所記載，是包含樹脂成分(A)、由曝光產生酸的酸產生劑成分(B)和可...
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