技術編號：4772314

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本實用新型涉及化學腐蝕輔助器件，特別是涉及一種無噪聲化學液冷熱交換精 密溫度控制器。背景技術半導體器件工業(yè)生產(chǎn)工藝中，廣泛使用化學腐蝕方法來完成硅片表面刻蝕圖 形。在化學腐蝕中，化學液的溫度對腐蝕質量起著重要作用，過高的溫度將使腐蝕 表面粗糙和過度，無法得到精細的結果影響質童量；過低的溫度無法完成所需的刻 蝕深度。因此在工藝上對溫度和精度有著嚴格要求?，F(xiàn)有技術一般使用壓縮機制冷 技術另加電加熱調節(jié)溫度來實現(xiàn)，體積大精度不易控制且有噪音。發(fā)明內(nèi)容本實用新型所...
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