技術編號：4485735
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種可以用于，例如凈室內(nèi)、液晶或半導體制造裝置內(nèi)等的空氣凈化的過濾器濾材及使用它的空氣過濾裝置。背景技術 用濕法抄紙玻璃纖維的濾材被折入加工的高性能空氣過濾器，是提供凈化空氣的設備，它一直在為至今的半導體行業(yè)做著貢獻。而由于LSI的高集成化進展，部件的最小結(jié)構尺寸的微細化，除去對象微粒子也微小化。與此相伴，以至于在半導體凈室中較多使用具有超過HEPA(HighEfficiency Particulate Air)過濾器性能的ULPA(Ultra ...
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