技術編號：4304066
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種新型濕法卸片流水板，適用于單晶硅拋光片生產。本實用新型所述的流水板主要由進水底板（1）、出水板（2）構成；進水底板（1）上的底板水路（9）由四條豎向水路和兩條橫向水路組成，使帶有一定水壓的純水快速、均衡充滿底板水路（9）流入出水板（2）；出水板（2）上設有單排橫向出水孔（3），出水板進水孔（10）與出水孔（3）通過連接水路（11）連接，使出水板（2）表面的水膜均勻穩定，硅片定位板（4）通過定位板安插軸（12）安插到相應硅片定位板安插孔（5）內，防止硅片...
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