技術(shù)編號：4256602
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于晶圓隔離保護(hù)部件，具體為一種晶圓隔離環(huán)。技術(shù)背景目前市場上用于隔離晶圓的產(chǎn)品為圓形薄片狀，因此在包裝時與 晶圓完全接觸。當(dāng)多片晶圓疊在一起包裝后，在運(yùn)輸途中晶圓易被污 染、劃傷，而且在使用過程中不易存放及拿取，這在對晶圓品質(zhì)高要 求的標(biāo)準(zhǔn)里是不允許的。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于針對現(xiàn)有晶圓包裝易被污染、劃傷的缺 陷，提供一種能減小晶圓被污染、劃傷，易取易放的晶圓隔離環(huán)。本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下 一種晶圓隔離環(huán)，在圓形環(huán)體的邊 緣設(shè)有支撐臺...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。