技術(shù)編號：4255449
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。基板搬送設(shè)備具備頂部搬送車，其沿行駛軌道行駛移動而將容器搬送至容器搬送部位；基板搬送裝置，其從位于基板取出部位的容器取出基板并將其搬送至基板處理裝置；以及中轉(zhuǎn)搬送裝置，其使載置容器的載置部沿水平方向移動而在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送容器。將基板搬送裝置構(gòu)成為從在載置于載置部的狀態(tài)下位于基板取出部位的容器取出基板，并將該基板自如地搬送至基板處理裝置。專利說明基板搬送設(shè)備[0001]本發(fā)明涉及設(shè)有頂部搬送車的基板搬送設(shè)備，該頂部搬送車在被配設(shè)于頂部的行...
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