技術編號：4226461
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種劇毒危險品高純度三氯氧磷的儲運供料使用裝置。 背景技術高純度的三氯氧磷(99. 9999% 99. 99999% )是生產制造光纖預制棒的主要原材料之一，也是集成電路、太陽能電池、電子元器件生產過程的擴散、摻雜工藝中的主要原料，被廣泛運用于光伏、IC產業。但其屬于強腐蝕性、強氧化性、劇毒、遇水劇烈反應的無色透明化學品。目前對高純度三氯氧磷的儲運供料一種是使用高純石英容器(0. 4 1. 5L) 盛裝，進出高純氮氣管采用PFA閥門密封、連接...
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