技術編號：39729570
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及矩形閥，尤其涉及一種推桿閉合式矩形手閥。背景技術、閥門是真空系統應用中不可或缺的基礎元件。最重要的用途之一就是在兩個真空腔體之間起到隔斷的作用。在半導體行業中，多數時候需要在腔體最外部設置一個手動閥來進行保護隔斷。因此，不僅需要此種手閥有較高的可靠性，還需要有一定的潔凈性。目前國內的手閥多是利用傳統鋼球頂開的閥芯，驅動方式也是通過簡單的齒輪傳動進行。主要問題是因為過多的金屬摩擦會產生大量污染粒子，而且齒輪傳動也不如通過一個擺桿驅動更省力。隨著半導體國產化替代的興起，作為重要組成部件的...
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