技術編號:39729205
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明屬于半導體,涉及一種具有橫向電容結構的硅調制器。背景技術、硅基光電子設備是指采用硅作為光波導的光電子設備。硅基光電子設備在近紅外波段透明,在光纖通信系統中有重要應用。由于硅通常用作集成電路的基板,所以硅基光電子可以在單個芯片上集成光學和電子器件。這種混合型設備可以采用現有的半導體制造技術來制造,可以提供芯片間及芯片內更快數據傳輸的光學互連。因此,增加了人們對硅基光電子的興趣。、硅調制器在光纖通信系統中負責把電信號加載到光域,是影響系統帶寬、能耗和信號完整性的核心器件。基于等離子體色散效...
注意:該技術已申請專利,請尊重研發人員的辛勤研發付出,在未取得專利權人授權前,僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權,增加技術思路,做技術知識儲備,不適合論文引用。