技術編號:39713454
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及定位裝置,尤其涉及一種管芯加工用定位工裝。背景技術、管芯是指在集成電路中制造集成塊所用的芯片,管芯制造過程中需要對單晶硅棒進行切割,使硅棒分離為多個硅片,切割過程中需要對單晶硅棒進行定位。、由于在對硅棒進行切割前會先將硅棒多余的部分切除,再對剩余的硅棒進行切片處理,現有的硅棒定位方式多為利用可上下移動的夾持件組成,夾持件為與硅棒表面相貼合的弧形,但是該弧形表面難以與不同粗細的硅棒表面完全貼合,所以在對不同粗細的硅棒進行夾持時,容易導致硅棒表面受力不均勻,進而影響定位穩定性。、因此...
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