技術(shù)編號(hào)：39656126

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本發(fā)明涉及諧振器、諧振裝置以及諧振器制造方法。背景技術(shù)、以往，使用了mems(micro?electro?mechanical?systems：微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)的諧振裝置例如作為定時(shí)設(shè)備來使用。該諧振裝置安裝于組裝在智能手機(jī)等電子設(shè)備內(nèi)的印刷電路基板上。諧振裝置具備：下側(cè)基板；上側(cè)基板，與下側(cè)基板之間形成空腔；以及諧振器，在下側(cè)基板以及上側(cè)基板之間配置在空腔內(nèi)。、諧振器一般由硅(si)晶片等半導(dǎo)體晶片制造，例如，在專利文獻(xiàn)中公開了如下的半導(dǎo)體晶片的制造方法：將第一擴(kuò)散工序的晶片的n型雜質(zhì)的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。

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