技術編號：39655965
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及碳化硅空心頂針制備的，尤其涉及一種實體碳化硅空心頂針制備方法。背景技術、實體碳化硅空心頂針由于其獨特的空心結構在導熱性、均勻性、潔凈度及壽命等方面遠優于石墨碳化硅涂層件，使其在si外延領具備特有的優勢，但又因其特殊空心結構，導致制備難度大、良率低、成本高，而無法大規模應用，本專利旨在發明實體碳化硅空心頂針制備方法，降低生產成本、提高生產良率，實現規模化生產。、在水平式si外延設備中，空心頂針作為反應腔中關鍵部件之一，直接與硅片接觸，起到支撐硅片的作用，固對頂針的導熱均勻性、潔凈度有...
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