技術編號：3799298
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明公開了一種化學機械研磨組合物，其特征在于，包括下列重量份數的物質水楊酸鈉35-40份，醋酸鈉2-7份，含氫硅油3-8份，甲基硅油9-15份，調節劑1-3份，水性介質50-55份，納米石墨粉1-2份，高嶺土1-3份，季戊四醇1-5份，氰尿酸三聚氰胺鹽2-3份，蒙脫土1-3份，過氧化苯甲酰1-2份，乙酸正丁酯2-3份，氯化鈣2-5份。本發明的化學機械研磨劑中包括親水基表面潔性劑材料，可以降低化學機械研磨劑和正在水性薄膜間的表面張力，使化學機械研磨劑和琉水...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。