技術(shù)編號：3671421

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本發(fā)明涉及感光化合物、包含溶解于溶劑中的該感光化合物的感 光組合物、使用該感光組合物的光刻膠圖案形成方法，以及通過使用 該光刻膠圖案形成方法制造器件的方法。背景技術(shù)近年來，在需要精細(xì)加工的包括半導(dǎo)體器件的各種電子器件的領(lǐng) 域中，對器件的高密度和高集成的要求日益增加。在半導(dǎo)體器件制造 工藝中，光刻方法(光刻法)在精細(xì)圖案的形成中起著重要作用。在光刻法中，需要能夠用100nm以下的精度穩(wěn)定地進(jìn)行精細(xì)加工的技術(shù)。 因此，也要求所使用的光刻膠能精確地形成IOO認(rèn)以...
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