技術編號：3457682
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型公開了一種高壓氦氣和氬氣純化裝置，涉及氣體純化裝置領域，為解決不同氣源之間不能切換以及純化后氣體的雜質含量不能確保的問題而設計。本裝置包括氬氣純化器、氦氣純化器以及多個閥門和管道，在設置有氬氣純化器的第一管道上設有若干截止閥，在設置有氦氣純化器的第二管道上設有若干截止閥，并在第一管道入口處設有與之并聯的第三管道，在第二管道入口處設有與之并聯的第四管道，所述第三管道和第四管道上均設有截止閥。本實用新型可實現不同氣源之間的切換，正常工作前減少絕大部分...
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