技術編號：3457270
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型提出了制備多晶硅的系統和提純三氯氫硅的系統。其中，制備多晶硅的系統包括氫氣加熱裝置，三氯氫硅加熱裝置，還原爐，氣液熱交換裝置，熱水混合裝置，三氯氫硅純化裝置，還原爐的原料進口與氫氣加熱裝置和三氯氫硅加熱裝置相連；氣液交換裝置分別與氫氣加熱裝置和三氯氫硅加熱裝置的冷水出口以及還原爐的尾氣出口相連；熱水混合裝置的進水口分別與還原爐的水冷組件以及氣液熱交換裝置相連；以及三氯氫硅純化裝置包括精餾塔，并且精餾塔的熱源進口與熱水混合裝置的還原工段熱水出口相連...
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