技術編號：3451438
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明屬于材料制備和微波化學領域，涉及一種鈦硅化合物及其 摻雜材料的制備方法。背景技術鈦硅化合物尤其是TiSi2在太陽能催化制氫、氫氣儲存、集成電路 等方面有重要的潛在應用。目前鈦硅化合物尤其是TiSi2主要通過鈦粉 和硅粉經常規爐高溫加熱合成，這種辦法合成溫度高、時間長、產物 晶粒較粗大，以鈦粉為原料時則成本很高。專利CN1822331和 CN1872662公布了以TiCL,和SiH,為原料，分別通過化學氣相沉積和常 壓化學氣相沉積的辦法，制備了硅化鈦納...
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