技術編號：3447249
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及硅烷制備及提純，尤其涉及。背景技術晶體硅材料(包括多晶硅和單晶硅)是最主要的光伏材料，目前，我國大多數企業的多晶硅生產工藝均為改良西門子法，此工藝以三氯氫硅為原料，生產過程中產生部分二氯二氫硅及大量四氯化硅副產物。對于四氯化硅，已有冷氫化等方法對其處理，使其重新轉化為三氯氫硅重復利用；對于二氯二氫硅，國內現階段還沒有成熟技術對其進行有效利用，即使僅以尾氣處理為目的的淋洗工藝也有很大的物耗，且二氯二氫硅的沸點較低，易燃易爆，與空氣混合后在很寬的范圍...
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