技術編號：3443205
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及三氯氫硅生產領域，尤其涉及一種氯化氫脫水設備及工藝。 背景技術三氯氫硅生產所用原料氯化氫氣體，參加反應前需要脫水處理，氯化氫氣體中水份含量的高低直接關系到三氯氫硅合成反應時轉化率的高低和反應情況的好壞。目前，國內三氯氫硅生產中對氯化氫氣體的干燥通常采用冷凍脫水法，冷凍脫水的原理是根據水蒸汽的分壓隨著溫度的降低而降低，而氯化氫的冰點為-15°C，因此，冷凍脫水時氯化氫的溫度不能無限制的降低，一般控制在-14士2°C范圍內，若低于此溫度，會導致氯化氫...
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