技術(shù)編號：3441443

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本發(fā)明涉及一種電子級化學(xué)試劑的生產(chǎn)方法，尤其涉及一種連續(xù)化生產(chǎn)超純電子級過氧化氫的方法。背景技術(shù)電子級過氧化氫主要用于大規(guī)模集成電路的清洗與腐蝕，隨著電子工業(yè)的發(fā)展， 集成電路集成度越來越高，這也對過氧化氫等電子級化學(xué)品的質(zhì)量和純度提出了更為苛刻的要求。中國傳統(tǒng)的生產(chǎn)電子級過氧化氫的方法基本上是將工業(yè)化過氧化氫處理成試劑級或食品級之后作為原料，缺乏以工業(yè)級過氧化氫為原料直接生產(chǎn)符合SEMI C12標準的超純過氧化氫的方法；因此原料成本高，經(jīng)濟效益低下。精餾...
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