技術(shù)編號(hào)：3437211

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本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及一種利用四氯化硅氫化生產(chǎn)三氯氫硅的 方法。背景技術(shù)采用改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的工藝中會(huì)產(chǎn)生大量副產(chǎn)物四氯化硅，四氯化硅 極易與水反應(yīng)生成二氧化硅和氯化氫，直接排放將嚴(yán)重影響生態(tài)環(huán)境，需要對(duì)四氯化硅 進(jìn)行妥善處理。利用四氯化硅可以制備白炭黑、有機(jī)硅，但這些產(chǎn)品的市場(chǎng)容量小，無(wú) 法消化數(shù)量較龐大的四氯化硅。隨著國(guó)內(nèi)多晶硅產(chǎn)能的不斷擴(kuò)大，循環(huán)利用是目前解決 多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生大量四氯化硅問題的較好出路，循環(huán)利用就是通過特殊工藝技術(shù)...
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