技術編號：3424512
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及由高熔點金屬合金、高熔點金屬硅化物、高熔點金屬 碳化物、高熔點金屬氮化物或高熔點金屬硼化物這些難燒結物質構成 的靶及其制造方法以及該濺射靶-背襯板組件及其制造方法，其特征在 于，能夠容易地制造由難以進行機械加工的高熔點金屬合金、高熔點 金屬硅化物、高熔點金屬碳化物、高熔點金屬氮化物或高熔點金屬硼 化物這些難燒結物質構成的靶，并且能夠有效地抑制制造靶時及濺射 時裂紋的產生。在此，高熔點金屬是指具有約170(TC以上的熔點的4A、 5A、 6A、 7...
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