技術編號：3416471
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種濺鍍裝置，更具體而言，涉及一種可降低由于停止沉積工藝來頻繁地更換用于防止膜生長的屏蔽件(anti-film-growing shield)而造成的各種工藝損耗、 進而提高生產率的濺鍍裝置。背景技術例如液晶顯示器(liquid crystal display ;LCD)、等離子體顯示面板(plasma display panel ；PDP)以及有機發光二極管(organic light emitting diode ；OLED)等平板顯示器或者...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。