技術編號：3405302
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及真空蒸鍍裝置或噴鍍裝置等的真空成膜裝置以及真空 成膜方法的。技術背景一般情況下，在這種真空成膜裝置中，在該裝置例如是噴鍍裝置 的情況下，在真空中激發氬氣、產生等離子體，通過使其與作為成膜 材料的目標(夕一y少卜)碰撞，使成膜材料的粒子在成膜處理室內 飛濺，使該飛濺的粒子碰到設置在成膜處理室內的工件(被成膜處理 部件)的表面而進行成膜。并且，提出了在這樣的真空成膜裝置中， 使裝有用于在工件上成膜的成膜機構的第一模具與裝有被成膜的工件 的第二模具抵接...
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