技術編號：3387208
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及鉆石晶圓拋光機改進技術，具體涉及一種鉆石晶圓拋光機加力裝置。背景技術對鉆石晶圓加工利用中使用的拋光機，其根據磨削量，主軸在高速旋轉的同時還要沿軸向磨盤ー個推力，以確保磨削力度和磨削補償。同時，還要考慮加力的大小，滿足對不同鉆石進行不同程度的加力要求。現有的鉆石晶圓拋光機主軸雖然采用了弾性加力裝置，但是還存在對所加力的力度調整問題。實用新型內容本實用新型針對目前現有狀況存在的問題和不足，提出一種鉆石晶圓拋光機加力裝置。本實用新型所采用的技術方案...
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